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北京恒奥德仪器仪表有限公司
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北京恒奥德仪器旋转涂膜操作原理

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详细介绍

北京恒奥德仪器旋转涂膜操作原理

 

机通过高速旋转基片,利用离心力将胶液均匀涂覆在基片表面。其核心原理如下:

 

操作原理

?滴胶?:将胶液滴在高速旋转的基片中心。

?离心力扩散?:旋转产生的离心力使胶液从中心向四周扩散,形成均匀涂层。

?厚度控制?:涂层厚度取决于胶液粘度、基片转速、旋转加速度及溶剂蒸发速度,通常遵循h∝ω(-1/2)的数学关系。 ?

关键参数

?转速范围?:常见转速范围为500-8000/分,可通过光电检测与负反馈电路实现±1%的转速稳定度。 ?

?程序控制?:支持多段编程(20个程序段×51种速度变化),可实现低速注胶和高速匀胶的二段控制。 ?

?真空吸附?:采用无油真空泵固定基片,确保涂覆精度。 ?

应用场景

广泛应用于半导体晶圆光刻胶涂布、光学镜片涂层、生物材料薄膜制备等领域,尤其在需要高精度、均匀涂层的工艺中